PVD涂层真空镀膜机检漏技巧

小编相信同行们有自己的方法来检测PVD涂层真空涂层机的泄漏。

首先，对于正在加工和制造过程中的PVD涂层容器或装置，最.好采用PVD涂层气泡泄漏检测方法。PVD涂层气泡泄漏检测方法是将一定压力的泄漏气体放入液体中，PVD涂层气体通过泄漏进入周围液体形成气泡，PVD涂层气泡是泄漏的位置，根据气泡形成速率、气泡大小和所用气体D液体的物理性质，PVD涂层可大致估计泄漏率。

PVD涂层盖法：PVD涂层用乙烯塑料袋（盖）覆盖整个装置，PVD涂层将氦充入袋中，即将整个真空容器浸泡在氦中进行泄漏检测。PVD涂层压力上升法，充分泵送后，关闭主阀、粗泵阀和漏气阀，用B-A电离真空规测量器内压力上升的变化来判断是否有漏气。

聚氯乙烯涂层是泄漏产生的压力上升部分和材料放气产生的压力上升部分之和，最终与时间成正比。当聚氯乙烯涂层曲线呈现上述状态时，表示设备泄漏。聚氯乙烯涂层无泄漏，只有材料放气，曲线应饱和；无材料无泄漏，一开始与时间成正比。